ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨ ਵੈਕਿਊਮ ਭਾਗ
ਗਰਮੀ ਦੇ ਇਲਾਜ ਵਿੱਚ ਮੁੱਖ ਤੌਰ 'ਤੇ ਆਕਸੀਕਰਨ, ਫੈਲਾਅ ਅਤੇ ਐਨੀਲਿੰਗ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆਵਾਂ ਸ਼ਾਮਲ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ।ਆਕਸੀਕਰਨ ਇੱਕ ਜੋੜਨ ਵਾਲੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਹੈ ਜਿਸ ਵਿੱਚ ਸਿਲਿਕਨ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ ਇੱਕ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੀ ਭੱਠੀ ਵਿੱਚ ਰੱਖਿਆ ਜਾਂਦਾ ਹੈ ਅਤੇ ਵੇਫਰ ਦੀ ਸਤਹ 'ਤੇ ਸਿਲਿਕਾ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਉਹਨਾਂ ਨਾਲ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਕਰਨ ਲਈ ਆਕਸੀਜਨ ਸ਼ਾਮਲ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।ਪ੍ਰਸਾਰ ਦਾ ਮਤਲਬ ਪਦਾਰਥਾਂ ਨੂੰ ਅਣੂ ਥਰਮਲ ਅੰਦੋਲਨ ਦੁਆਰਾ ਉੱਚ ਸੰਘਣਤਾ ਵਾਲੇ ਖੇਤਰ ਤੋਂ ਘੱਟ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਵਾਲੇ ਖੇਤਰ ਵਿੱਚ ਲਿਜਾਣਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਫੈਲਣ ਦੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਨੂੰ ਸਿਲੀਕਾਨ ਸਬਸਟਰੇਟ ਵਿੱਚ ਖਾਸ ਡੋਪਿੰਗ ਪਦਾਰਥਾਂ ਨੂੰ ਡੋਪ ਕਰਨ ਲਈ ਵਰਤਿਆ ਜਾ ਸਕਦਾ ਹੈ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰਾਂ ਦੀ ਚਾਲਕਤਾ ਬਦਲਦੀ ਹੈ।
